华海清科(688120)：拟收购芯嵛半导体剩余股权 平台化布局持续完善

　　华海清科发布公告称，将收购参股子公司芯嵛半导体（上海）剩余82%的股权。

芯嵛半导体聚焦离子注入机，技术实力国内领先，低能大束流离子注入设备已发往客户端验证。本次业务整合将进一步提升华海清科平台化实力，拓展公司面向的市场空间，维持“增持”投资评级。

公司拟收购芯嵛半导体剩余全部股权，整合离子注入机业务。华海清科发布公告称，公司将和/或全资子公司华海清科（上海）拟使用自有资金不超过100450 万元，收购华海清科参股子公司芯嵛半导体（上海）剩余82%的股权。

    　　芯嵛半导体聚焦半导体离子注入机设备，本次交易完成后，芯嵛半导体将成为华海清科全资子公司。

离子注入机国产化率极低，芯嵛半导体技术实力和商业化进度国内领先。离子注入机技术涉及高压电子、机械、电气、计算机控制、等离子体物理等基础科学，理论门槛高，系统集成难度大。全球超90%份额被美国AMAT、Axcelis占据，国内主要厂商为芯嵛半导体、北京中科信、万业企业（凯世通）、青岛四方思锐等，国产化率极低。芯嵛半导体核心技术团队从业30 余年，不断积累机台know-how，目前低能大束流离子注入设备实现商业化，相关产品已发往客户端验证。

华海清科面向的市场空间将进一步拓展，平台化布局逐步完善。根据SEMI，离子注入机台面向市场空间占全球半导体设备市场规模的比例为3-5%，本次交易进一步拓展公司面向的市场空间。同时华海清科其他新品验证及出货顺利，晶圆减薄机获得批量订单、减薄贴膜一体机在头部客户验证、切割机验证顺利、金属薄膜量测设备获得重复订单，公司“装备+服务”平台化布局逐步完善。

业绩对赌协议彰显长期发展信心，未来机台出货量有望快速提升。芯嵛半导体2023 年、2024 年1-5 月实现收入362 万、78 万元，截至2024 年5 月31日，公司离子注入机台尚未实现收入，截至目前，已有部分机台实现验收。

华海清科和芯嵛半导体签订业绩对赌协议，对其设定两个业绩承诺考核标准，1）芯嵛半导体2024-2026 年收入将分别不低于0.45 亿元、1.05 亿元、3.4亿元，其中各年度离子注入机验收后确认的收入占比至少80%；2）2024-2025年度，芯嵛半导体将分别发布并交付不少于4 台、8 台离子注入机台给终端客户并进入客户设备验证或验收程序。

华海清科盈利能力保持高位，芯嵛半导体并表后对利润影响预计有限。芯嵛半导体2023 年、2024 年1-5 月归母净利润亏损2442 万元、亏损1516.7 万元。华海清科前期研发的大单品CMP 设备、减薄设备等逐步放量或获得批量订单，公司研发费用率得到较好控制，同时公司耗材维保业务利润随CMP 机台保有量提升而增厚，整体看公司具备较强盈利能力。从利润率来看，华海清科长期维持20%以上扣非净利率，2024 前三季度扣非净利率达25%，亦明显高于国内半导体设备公司平均水平。因此，尽管芯嵛半导体短期内或仍将亏损，但并表后预计对华海清科利润影响有限。

投资建议。芯嵛半导体技术实力国内领先，低能大束流产品已经发往客户端验证，本次收购完成后，华海清科市场空间将进一步拓展，平台化布局持续完善。我们预计公司2024/2025/2026 年收入为33.3/43.1/54.3 亿元，预计归母净利润为10.0/13.0/16.4 亿元，对应PE 为40.9/31.3/24.9 倍，维持“增持”投资评级。

风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期，美国半导体设备出口管制加剧，新品研发不及预期，行业竞争加剧的风险。