天准科技(688003)：明场检测设备迎来突破 半导体业务加速落地

事件：公司微信公众号“天准公司”于2025/05/05 发布子公司苏州矽行半导体技术有限公司面向40nm 制程BFI 设备获得客户订单。

半导体设备市场空间广阔，中国大陆处于快速发展期：半导体设备是支撑半导体产业发展的重要环节，根据 SEMI 预测报告，预计 2024 年中国大陆地区半导体设备销售额达到 490 亿美元，同比+33.7%，连续多年成为全球第一大半导体设备市场。从晶圆产能来看，2024 年中国大陆晶圆产能同比增长 15%至 885 万片/月，2025 年将继续增长 14%至 1,010 万片/月。

明/暗场检测设备作为质量控制设备，长期受制于海外技术垄断：根据VLSI 数据，2023 年全球半导体检测和量测设备市场规模达到 128.3 亿美元，其中明场/暗场检测设备分别为25.02/10.78 亿美元，占比19.5/8.4%。从市场竞争格局来看，KLA 在全球检测与量测设备的合计市场份额占比为 55.8%。前五大公司全球合计市场份额占比超过了 84.1%，均来自美国和日本，国产化空间巨大，随着未来国内企业陆续突破，半导体进口替代在加速落地。

TB1500 获得正式订单，公司明场检测设备继续向先进制程拓展：此次宣布的TB1500 是继TB1000 的再次突破，至此已形成 TB1000/TB1100（65-180nm）、TB1500（55/40nm）与TB2000（28/14nm）三大产品系列矩阵。公司基于“自主研发+海外并购+生态投资”的发展战略闭环，已相继攻克晶圆微观缺陷检测、套刻精度量测、关键尺寸量测及掩膜量测等核心技术，形成贯穿晶圆制造、掩膜生产到封装测试的全流程量检测方案集群。

投资建议：我们预计公司2025-2027 年实现营业收入18.56/20.73/22.77 亿元，归母净利润1.79/2.37/2.60 亿元。对应PE 分别为49.84/37.62/34.24 倍，维持“增持”评级。