中科飞测(688361)2025三季报点评：营收持续高增 先进制程量检测设备研发验证进展顺利

　　投资要点

25Q1-Q3 营收高增，亏损陆续收窄：2025Q1-Q3 公司实现营收12.02 亿元，同比+47.9%，主要系公司产品覆盖度提升，出货量提升；归母净利润为-0.15 亿元，亏损同比收窄，主要受益于营收规模增长以及费用率整体下降，扣非净利润为-1.40 亿元，同比-11.6%。Q3 单季营收为5.00 亿元，同比+43.3%，环比+22.4%；归母净利润为0.04 亿元，同比-77.3%，环比+207.7%；扣非归母净利润为-0.3 亿元，同比亏损幅度加大，主要系资产减值损失计提较去年同期有所增加。

盈利能力同比改善，研发投入仍维持高位：25Q1-Q3 公司毛利率为51.97%，同比+4.28pct； 销售净利率为-1.22%，同比+5.2pct；期间费用率为57.97%，同比-4.7pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别为7.60%/12.33%/36.62%/1.19%，同比-0.7/-0.5/-4.6/+1.0pct。研发投入维持高位，25Q1-Q3 研发费用达4.40 亿元，同比+31.3%。Q3单季毛利率为48.69%，同比-1.1pct，环比-2.9pct；销售净利率为0.73%，同比-3.9pct，环比+1.6pct。

存货同比增长，负现金流环比收窄：截止25Q3 末，公司存货为25.36 亿元，同比+63.1%；合同负债为5.68 亿元，同比-18.6%。Q3 公司经营活动净现金流为-2.36 亿元，环比收窄。

平台化布局产品线持续丰富，更先进制程研发验证进展顺利：1）无图形晶圆检测设备：量产型号已覆盖2Xnm 及以上工艺节点，1Xnm 设备通过多家头部逻辑/存储客户验证，截至25H1 公司累计交付超300 台，覆盖超100 余家客户，同时第四代产品已出货至国内头部客户产线验证；2）图形缺陷检测设备：广泛应用于逻辑、存储、先进封装等领域，其中用于具备三维检测功能的设备与 HBM 等先进封装的3DAOI 设备通过国内头部客户验证，2Xnm 明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备的研发进展顺利，截至25H1 末，公司累计交付超400台，覆盖 50 余家客户；3）三维形貌量测设备：支持 2Xnm 及以上制程，截至25H1累计交付超 200 台设备，覆盖近 50 家客户，应用在 HBM 等新兴先进封装领域的三维形貌量测设备也通过多家国内头部客户验证，期间订单稳步增长；4）薄膜膜厚量测设备：已覆盖国内先进工艺和成熟工艺的主要集成电路客户，金属薄膜膜厚量测设备为新增长点，订单量持续稳步增长，市占率不断提升，测量精度更高的新一代介质薄膜膜厚量测设备已通过多家国内主流客户验证；5）套刻精度量测设备：

90nm 及以上工艺节点的设备已实现批量销售，2Xnm 设备已通过国内头部客户产线验证，获得国内领先客户订单，测量精度更高的新一代设备已开展产线验证，进展顺利。6）明/暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备系列已陆续开始在头部客户验证；7）关键尺寸量测设备：2Xnm 产品研发进展顺利，已完成客户端验证。8）良率管理、缺陷分类、光刻套刻分析系统已陆续交付客户。

盈利预测与投资评级：考虑到订单验收节奏，我们调整公司2025- 2027 年归母净利润分别至1.0/3.6/5.1（原值：2.2/3.6/5.1）亿元，当前市值对应动态 PE 分别为409/116/83 倍，基于公司在半导体量测设备领域的高成长性，维持“增持”评级。