中微公司(688012)：先进刻蚀设备运付量提升 薄膜类新品开启放量

前三季度营收同比增长36.27%，刻蚀设备同比增长53.77%。公司发布2024年三季度报告，前三季度实现营收55.07 亿元（YoY +36.27%），归母净利润9.13 亿元（YoY -21.28%）。其中，第三季度实现营收20.59 亿元（YoY+35.96%，QoQ +11.77%），归母净利润3.96 亿元（YoY +152.63%，QoQ +48.11%）。

前三季度刻蚀设备收入44.13 亿元（YoY +53.77%），MOCVD 收入1.86 亿元，LPCVD 实现首台销售0.28 亿元。此外，公司前三季度共付运专用设备1514台（YoY +238.7%），共生产专用设备1160 腔（YoY +310%），对应产值约94.19 亿元（YoY +287%）。

新签订单同比增长约52.0%，毛利率环比提升5.56pp。前三季度公司新签订单76.4 亿元（YoY +52.0%），包括刻蚀设备新增订单62.5 亿元（YoY +54.7%），新产品LPCVD 新增订单3.0 亿元。其中，第三季度新签订单29.38 亿元，包括刻蚀设备约23.1 亿元，LPCVD 约1.32 亿元。2024 年，公司预计全年累计新增订单有望达到110-130 亿元。第三季度受产品结构变动及部分高毛利设备确认影响，公司毛利率达到43.73%（QoQ +5.56pp），净利率达到19.22%（QoQ +4.71pp）。第三季度计入非经常性损益的股权投资约0.81 亿元，9月末发出商品余额约35.07 亿元，合同负债余额约29.88 亿元。

先进刻蚀工艺设备付运量显著提升，薄膜LPCVD 等设备开启放量。公司CCP设备前三季度交付超1000 个反应台，先进存储超高深宽比刻蚀，与先进逻辑中段关键刻蚀工艺实现量产。ICP 设备中，高端ICP 设备付运大幅提升，Primo Twin-Star 在多个客户获得重复订单。在薄膜设备方面，公司LPCVD前三季度取得3 亿新增订单，钨系列产品可满足关键客户工艺需求，多道应用已实现量产，并取得多个系统量产订单。此外，公司EPI 设备已顺利进入客户端量产验证，已完成多家先进逻辑器件与MTM 器件客户的工艺验证，并获得客户高度认可。

投资建议：国内半导体先进工艺设备公司，维持“优于大市”评级。由于国内半导体设备需求持续旺盛，且公司市场不断增加刻蚀、薄膜等领域覆盖度提升份额，未来营收规模效应有望逐步体现。我们预计公司2024-2026 年营业收入83.64/114.67/149.59 亿元（前值83.79/105.37/132.25 亿元），归母净利润15.46/22.03/31.82 亿元（前值20.50/25.87/34.04 亿元），当前股价对应PE 分别为75.9/53.3/36.9 倍，维持“优于大市”评级。