芯源微(688037)：持续推动高端产品突破

公司全新一代前道涂胶显影机推进顺利，成长空间广阔。部分投资者担忧公司在前道涂胶显影机高端产品上突破有限，难以突破海外厂商的垄断。我们认为，公司全新一代前道涂胶显影机推进顺利，有望持续打开成长空间。公司是目前国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商。目前，公司新一代机型整体推进顺利，处在司内做调试和验证的阶段，有望快速在客户端导入验证，新一代架构高产能前道涂胶显影机有望在明年在客户端看到整体表现和效果。公司现有前道涂胶显影产品已经获得国内头部逻辑、存储等客户订单，offline、I-line、KrF 机台在多家客户端量产跑片数据良好。未来随着新一代产品持续突破，公司有望进一步提升客户认可度。

公司持续实现清洗品类高端产品突破，高温SPM 机台打破国外垄断。部分投资者认为清洗品类国产化率的提升已经到瓶颈期，未来增速可能放缓。我们认为，公司持续突破高端品类，有望打开清洗品类成长空间。在化学清洗设备方面，目前公司化学清洗机已获得国内多家大客户订单及验证性订单，新签订单实现较快增长。其中，高温SPM 清洗工艺被业界公认为28nm/14nm 制程性能要求最高的工艺之一，目前高温SPM 设备市场被海外厂商高度垄断。公司高温SPM 机台经过客户端数月的量产跑片监控，在核心指标上可对标海外龙头，目前该机台已成功通过客户工艺验证，成功打破国外垄断。

北方华创全面赋能公司经营，有望持续发挥协同效应。2025 年，国内半导体设备龙头企业北方华创成为公司控股股东，截至2025 年三季报持有公司17.8%的股权。我们认为，北方华创成为公司控股股东后可实现对公司经营的全面赋能，推动公司内部管理精细度持续提升。展望未来，公司与北方华创持续发挥协同效应，有望助力公司实现前道track 的快速突破，并加大前道化学清洗新品的客户端导入力度。

    　　盈利预测与投资建议

我们预测公司25-27 年归母净利润分别为1.24、3.08、5.79 亿元（原25-26 年预测为3.99、5.72 亿元，主要调整了营业收入、毛利率与费用率），根据DCF 估值法，给予131.93 元目标价，维持买入评级。

    　　风险提示