中微公司(688012)：营收同环比高速增长 平台化战略全面提速

中微公司发布2025 年报，2025 全年营收123.8 亿元，同比+36.6%，归母净利润21.1 亿元，同比+30.7%，CCP、ICP 尖端产品持续突破，薄膜沉积及先进封装进展顺利，平台化战略全面提速，维持“增持”投资评级。

2025 全年刻蚀和沉积设备收入快速增长，装机数量持续提升。2025 全年营收123.8 亿元，同比+36.6%，毛利率39.2%，同比-1.9pct，归母净利润21.1亿元，同比+30.7%，扣非净利润15.5 亿元，同比+11.6%。①刻蚀设备营收98.3 亿元，同比+35.1%，其中CCP 累计装机量超过5000 反应台、当年付运超过1000 个反应台，ICP 累计安装数达1800 个反应台；②LPCVD 设备营收5.1 亿元，同比增长224.2%，累计出货量突破300 个反应台。

25Q4 单季收入同环高增长，利润环比改善明显。25Q4 单季度营收43.2 亿元，同比+21.5%/环比+39.3%，毛利率39.3%，同比+0.0pct/环比+1.4pct；归母净利润9.0 亿元，同比+28.1%/环比+78.2%，扣非净利润6.63 亿元，同比+15.4%/环比+90.5%。

CCP、ICP 尖端产品持续突破，薄膜沉积及先进封装进展顺利，平台化战略全面提速。CCP 设备方面，可调电极间距单反应台新品满足先进原子层刻蚀需求，26Q1 开展工艺验证与马拉松测试；晶边刻蚀设备Primo Halona2025年交付国内领先逻辑客户验证。超高深宽比刻蚀设备PrimoUD-RIE 已实现沟槽刻蚀大规模量产，面向更先进三维存储器件的下一代产品已完成实验室研发；ICP 设备方面，NanovaLUX-Cryo 通过客户认证并获重复订单，下一代β机台2026 年初赴客户端认证；Primo Menova 顺利通过认证并投入量产；Primo Twin-Star DSE α机台搭建完成并启动客户工艺认证；公司正围绕先进高选择比等关键技术有序推进ICP 刻蚀技术研发。薄膜设备方面，钨系列CVD、HAR 及ALD 已通过关键存储客户现场验证并获得重复量产订单，同时适配先进逻辑与特殊器件的金属钨互连需求；面向先进逻辑器件的金属栅系列ALD 氮化钛、ALD 钛铝、ALD 氮化钽设备已完成多家先进逻辑客户验证，减压EPI 已付运先进及成熟制程客户开展验证，常压EPI 进入工艺验证环节。

先进封装设备方面，PrimoTSV300E 硅通孔获得重复订单，同时在12 英寸高深宽比深槽电容刻蚀及SoIC WoW 工艺上完成开发，并在国内头部客户产线成功验证；先进封装等离子体切割设备Primo Matrix 洽谈推进，持续深耕第三代TSV 刻蚀机开发、启动CuBS PVD 设备研发。公司进军CMP、量检测等设备，拟购买杭州众硅，承诺2026-2028 年分别实现并表营收2.8/4.3/5.8亿元；成立子公司超微进军电子束量检测，平台化布局持续加深。

投资建议。公司收入利润同比高增，研发进度显著加快，平台化布局持续加深。我们预计公司2026/2027/2028 年收入为151.2/185.0/234.8 亿元，预计归母净利润为29.5/38.9/51.7 亿元，对应PE 为63.5/48.2/36.3 倍，维持“增持”投资评级。