芯源微(688037)：涂胶显影设备进展顺利 清洗机业务发展良好

事件：芯源微发布2023 年半年报，2023H1 公司实现营业收入6.96 亿元，同比增长37.95%；实现归母净利润1.36 亿元，同比增长95.48%；实现扣非归母净利润1.04 亿元，同比增长57.71%。

涂胶显影设备研发与验证进展顺利：芯源微的浸没式高产能涂胶显影设备获得了广泛认可，导入进展良好。高端offline 设备方面，超高温烘烤Barc 设备已实现客户重复订单；应用于其他旋涂类工艺的SOC 设备实现了客户端导入，有效拓展了应用领域和市场空间。公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，已完成28nm 及以上工艺节点的全覆盖，并持续向先进工艺推进，未来市占率有望进一步提升。

物理清洗机打造公司成长新驱动力：芯源微的物理清洗机SpinScrubber 系列凭借其高产能、高颗粒去除能力、高性价比等优势迅速打破国外垄断，目前已作为主流机型广泛应用于中芯国际、上海华力、青岛芯恩、广州粤芯、上海积塔、厦门士兰等知名厂商。近年来，随着公司前道物理清洗机在高产能清洗架构、颗粒去除能力等工艺上实现了进一步的提升，产品竞争力不断增强，国内市占率稳步上升。

产品升级带动毛利率稳步提升：公司2023H1 销售毛利率43.44%，相比去年同期的40.12%提升3.32 个百分点。随着公司涂胶显影与清洗设备产品与技术不断升级，公司毛利率水平未来有望继续提升。

投资建议：综合考虑国内半导体产业发展状况，公司核心技术目前的研发进度，我们预计公司2023-25 年营收为19.91/27.31/35.48 亿元，归母净利润分别为3.15/4.59/6.19 亿元，对应PE 为63.11/43.38/32.16 倍，维持“增持”评级。