微导纳米(688147)：本土ALD龙头 战略发展半导体前景广阔

　　报告摘要

本土ALD 设备龙头厂商， 半导体业务战略性发展。公司成立于2015 年， 以ALD/PECVD 等薄膜沉积技术起家，成立初主要业务覆盖光伏领域，2018 年开启半导体领域设备研发，半导体业务从2021 年开始贡献收入并进入快速发展阶段，截至目前已形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。在半导体领域，公司聚焦ALD 设备并持续拓宽技术平台，目前已拓展至CVD 等更广泛的薄膜沉积领域，后续将逐步拓展至更多领域。在光伏领域，公司率先实现ALD 技术在光伏电池生产的规模化应用，是高效电池技术与设备领军者，相关产品市场份额连续多年位居国内同类企业第一，持续引领行业技术迭代。

半导体业务：聚焦ALD 技术，CVD 持续突破。薄膜沉积为半导体晶圆制造中的核心设备，24 年国产化率约18%，仍极不充分。其中随着先进制程的结构3D 化、材料复杂化、深宽比持续上升，ALD 成为能满足这些要求的重要沉积方式。公司在2020 年率先研制出国内首台量产型High-k 原子层沉积设备，成功应用于28 纳米制造节点。

公司当前已涵盖了行业所需主流ALD 薄膜材料及工艺，相关产品可覆盖逻辑、存储、先进封装、化合物半导体、新型显示（硅基OLED 等）等诸多细分应用领域。同时公司积极拓展至CVD 领域设备，CVD 设备在硬掩膜等关键工艺领域已实现产业化突破，其中PECVD 已实现产业化应用，LPCVD 已进入产业化验证阶段。从订单规模看，半导体业务快速发展，25Q1-Q3 公司合计新签半导体业务订单14.83 亿元，yoy+97%，处于快速发展阶段，其中大部分订单均来自于NAND 和DRAM 领域头部客户。

光伏业务：光伏领域ALD 龙头，静候景气回升。公司光伏领域ALD 产品的营收规模、订单总量和市占率方面连续多年占据国内第一，有良好的业务基础。未来在光伏发电成本持续下降和新兴市场需求增长等有利因素的推动下，全球光伏新增装机仍有望持续增长，光伏市场有望明后年逐步复苏，新型电池技术路线正逐步成为电池技术的主要发展方向。公司当前已覆盖TOPCon、XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等新型电池技术路线。同时，ALD 也有望解决固态电池产业化难点，打开新的应用空间。2025 年国内固态电池出货量预计是10GWh，到2028 年有望增长至30GWh，期间CAGR 达44%。渗透率来看，全球固态电池渗透率当前较低，有望在2030 年达到10%，若公司ALD 技术可应用于固体电池，该领域未来或有望成为公司业务的第三大组成部分。

投资建议：我们预计公司2025-27 年有望实现营收为26.19/26.92/37.21 亿元，YoY分别为-3%/3%/38% ， 对应毛利率为33%/35%/38% 。归母净利润分别为3.12/4.25/7.36 亿元，同比增长37%/36%/73%。我们选取同为半导体设备企业的北方华创、中微公司、拓荆科技和同为光伏设备企业的迈为股份、捷佳伟创作为公司的可比公司，可计算得可比公司2025-27 年PE 分别为66/50/39 倍，同期公司PE 为112/82/47 倍。考虑到下游存储产线扩产与升级的确定性，公司两存敞口大，有望充分受益，结合公司在ALD/CVD 领域积极布局，推出多款新产品，有望持续放量，盈利能力也有望后续恢复至行业平均水平，首次覆盖，给予公司“增持”评级。